SuperViewW微納米白光干涉三維形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器白光干涉儀國產(chǎn)三維形貌儀SuperViewW是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW納米級高精度白光干涉測量儀用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

中圖儀器SuperViewW白光三維測量系統(tǒng)基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。