光纖激光尺

PLR3000系列光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導(dǎo)，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。

核心優(yōu)勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩(wěn)頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

（2）環(huán)境氣象站實時補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現(xiàn)多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復(fù)雜場景。

3. 高穩(wěn)定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設(shè)計，3米鎧裝光纖連接，避免設(shè)備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動態(tài)速度達(dá)2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

航空航天：發(fā)動機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)。

精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動位置反饋、微機(jī)械元件測量。

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制。

服務(wù)與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。

專業(yè)認(rèn)證：提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準(zhǔn)證書，確保數(shù)據(jù)性。

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團(tuán)隊7×24小時響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場問題。