光柵尺測長機

中圖儀器SJ5100系列光柵尺測長機具有高精度、高速度、非接觸式測量等優(yōu)點，是利用光柵的干涉作用，通過光電檢測器將光信號轉化為電信號，并經過計算得出被測物體的尺寸。廣泛應用于機械加工、電子制造、半導體生產等領域，常用于工業(yè)生產中對物體長度、角度和位置等參數的精確測量。其測量精度通常可達到亞微米級別，可以滿足大多數工業(yè)生產對尺寸精度的要求。

產品描述

采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導軌、高精度溫度補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現各種長度參數的高精度測量。通過高精密研磨導軌保證測量頭座移動的高穩(wěn)定性及超高直線度，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)記錄長度方向坐標，由計算機將光柵數據與測力裝置、溫度傳感器的反饋數據及阿貝誤差數據修正后進行數據合成（由于導軌較高的直線度，因此阿貝修正造成的儀器誤差小）。按被測件參數的相關定義及公式進行分析，計算獲得相關長度參數。

操作者裝好被測件，在檢測軟件上選擇被測件的標準和輸入被測件的規(guī)格參數后，移動頭座接觸被測件，調整五軸工作臺找到拐點，采樣完成得到測量數據，系統(tǒng)可實時顯示測量結果，自動計算被測件各項參數（如檢測螺紋規(guī)，則可自動計算螺紋中徑），并根據系統(tǒng)內置的標準數據庫對被測件的各項參數進行合格判定，整個測量過程不超過3分鐘，結束后自動生成結果及記錄報表。

儀器主要功能

1.標配功能：

檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點內徑千分尺：25~300mm；

2.可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標準齒輪（跨棒距測量）：內φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動校準：25~300mm；

數顯及游標卡尺示值誤差手動校準：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動校準：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內徑千分尺手動校準：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準）；

數顯半徑規(guī)手動校準：R5~R700mm；

軸承內外圈錐度、溝槽底徑內外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內外徑尺寸測量；

主要技術指標

性能特點

1.全程直接測量：

SJ5100系列光柵尺測長機采用進口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行高精度全行程直接測量。

2.高精度、高穩(wěn)定性：

1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導軌系統(tǒng)導軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數據的高精度真實采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結構保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結構保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅動結構，移動摩擦驅動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。

3.雙向恒測力：

1) 特殊傳感器雙向恒測力系統(tǒng)，減小了測力對測量結果的影響，保證了高的系統(tǒng)測量精度；

2) 測力較大范圍的連續(xù)可調；

3) 非砝碼加載，測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差。