SJ6000高精度激光干涉儀

SJ6000高精度激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

SJ6000高精度激光干涉儀除了環境適應能力好，還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。

功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現龍門機床雙軸同步測量；

可實現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

支持手動或自動進行環境補償。

對機床精度再校準

導軌直線度檢測

技術規格

軟件強

友好的人機界面；

豐富的應用功能模塊；

向導式的操作流程；

簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業專屬模板定制。

EC20環境補償單元

中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環境補償單元，由環境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。

EC20環境補償單元

EC20環境補償單元在出廠前，會依照相關計量標準對各環境參量進行精確校準，通常情況下建議24個月校準一次。在使用EC20環境補償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下，建議將環境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。