白光干涉儀三維顯微鏡

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達0.1nm?？梢詼y到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

行業應用

在3C領域，可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在LED行業，可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業，可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在軍事領域，可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。

測量方法

1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；

3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；

5.設置好掃描方式和掃描范圍；

6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；

7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；

8.根據被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設置；

9.點擊彈出框右下角的“開始"圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。