激光干涉儀測量系統

SJ6000激光干涉儀測量系統可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；也可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

測量精度高、速度快，穩定性好：

1.使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)；

2.以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級；

3.使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s；

4.配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；

5.分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變。

量程精度

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

SJ6000激光干涉儀測量系統可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，也具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；支持手動或自動進行環境補償。