便攜式3D輪廓測(cè)量?jī)x

中圖儀器SuperViewW1便攜式3D輪廓測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)為原理，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域中，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

除主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，SuperViewW1便攜式3D輪廓測(cè)量?jī)x具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。通過(guò)利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

性能特點(diǎn)

1、輪廓/粗糙度測(cè)量功能：

高到亞納米級(jí)的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測(cè)量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo)；

2、自動(dòng)化測(cè)量功能：

自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)拼接測(cè)量；

3、復(fù)合型掃描算法：

集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無(wú)須切換，操作便捷；

4、雙重防撞保護(hù)功能：

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心；

5、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能：

環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能能夠定量檢測(cè)儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對(duì)儀器的調(diào)試、測(cè)試可靠性提供指導(dǎo)；

6、完善的售后服務(wù)體系：

設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場(chǎng)解決，軟件免費(fèi)升級(jí)。

應(yīng)用場(chǎng)景

微流控器件—槽道測(cè)量

光伏柵線—厚度和寬度測(cè)量

半導(dǎo)體-輪廓尺寸測(cè)量

薄膜粗糙度測(cè)量