3d輪廓檢測儀

中圖儀器3d輪廓檢測儀采用了光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證了高測量精度。為獲得高測量重復性，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，生產的隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲。

儀器分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

薄膜粗糙度測量

金屬光滑凹面輪廓測量

球面鏡曲率半徑與粗糙度測量

金屬片磨損分析

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價格變實惠，適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。