非接觸粗糙度測量儀

各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

金屬光滑凹面輪廓測量

光學(xué)鏡片表面粗糙度測量

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球面鏡曲率半徑粗糙度測量

SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域中的表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，具有的測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、非接觸式測量：避免物件受損。

2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。

3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。

5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。

6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。

7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。

8、測量軟件：基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。