白光干涉儀檢測儀器

自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)必須測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域時(shí)，都可以采用自動拼接，而中圖儀器SuperView W1白光干涉儀檢測儀器，可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫"的3D全景。

金屬光滑凹面輪廓測量

手機(jī)配件表面粗糙度輪廓測量

金屬片磨損分析

現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。白光干涉儀實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

SuperView W1白光干涉儀檢測儀器參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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