VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而實現器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖國產臺階儀品牌NS系列主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

CEM3000系列毫米級超大景深臺式掃描電鏡是用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。其空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

在不改變整機外觀尺寸的情況下，中圖儀器CEM3000大樣品倉型臺式掃描電鏡拓展了樣品倉尺寸，從而可對大尺寸樣品或多個常規尺寸樣品進行分析。它無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測量儀利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。