?SJ5730-100國(guó)產(chǎn)輪廓測(cè)量?jī)x器具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm或更高，可以一次測(cè)量同時(shí)評(píng)定輪廓和粗糙度參數(shù)。儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動(dòng)時(shí)，可放置在任何位置控制操作，在測(cè)量工件前對(duì)測(cè)針進(jìn)行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動(dòng)測(cè)針、急停、測(cè)桿上下角度擺動(dòng)及速度分多級(jí)調(diào)節(jié)功能。

光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。有非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效的優(yōu)點(diǎn)。

光學(xué)3D表面輪廓測(cè)量?jī)x，是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。 非接觸式無(wú)損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀國(guó)內(nèi)品牌的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x品牌由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

OP光學(xué)輪廓儀主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓，也能測(cè)量晶圓翹曲度，適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。也稱為白光干涉儀 (WLI)，是一款以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時(shí)的位置，完