激光干涉儀主要應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的測(cè)量與校準(zhǔn)

　　

　　儀器采用塞曼穩(wěn)頻或者其他方式將單頻激光分為兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直，具有一定頻差的激光輸出。其中，分一部分光作為參考光，參考光的頻率差為f1-f2，另一部分光由激光頭出射，同樣通過(guò)偏振分光棱鏡PBS，可以將兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直的線偏振光分開(kāi)，一束頻率為f1的光由固定角錐反射返回，另一束頻率為f2的光作為測(cè)量光，由移動(dòng)角錐反射，在返回時(shí)由于多普勒效應(yīng)，相應(yīng)的光頻變化為f2±△f。

　　

　　激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　

　　該儀器主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的測(cè)量與校準(zhǔn)，如數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)等領(lǐng)域；也可用于教學(xué)和科研，如引力波探測(cè)、重力加速度試驗(yàn)、微觀檢測(cè)和納米研究等。