機床激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的(位害和幾何)精度校正，具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。可完成各項參數的測量。如線形位置精度、重復定位精度、機床角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有一些選擇功能，如自動螺距誤差補償(適用大多數控系統)，機床動態特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，車床觸發脈沖輸入輸出功能等。
通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。
機床激光干涉儀的應用：
1、是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規定標準處理測量數據并打印出誤差曲線，為機床的修正提供可靠依據。
2、配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現場使用尤為方便。
3、可方便地安裝在測長機上，取代原測長機的坐標系統，作為一般計量室中的長度基準。
4、是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標鏜、螺絲磨等精密機床及坐標測量機上作為坐標系統，使定位精度大為提高。
5、具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預定的間距自動完成檢測和刻劃工作。
6、與圓分度器結合使用是一套高精度長度—角度比相計，可作為機床傳動鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統。
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